Optisen MEMS-kytkimen tarkoituksena on kaivertaa piikiteeseen useita pieniä peilejä. Sähköstaattisen voiman tai sähkömagneettisen voiman vaikutuksesta mikropeiliryhmää pyöritetään, mikä muuttaa tulovalon etenemissuuntaa optisen polun on-off-toiminnon toteuttamiseksi. Optinen MEMS-kytkin vaihtaa valoaaltojen reitityksen ulkoisten ohjaustietojen ja vastaavien korkeiden ja matalien tasojen kautta ohjatakseen, onko sisäinen mikropeili nostettu vai ei.